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洁净实验室建设规划


洁净实验室的主要功能是控制产品(如硅片等)接触的大气的清洁度、温度和湿度,使产品能够在良好的环境空间中生产和制造。这个空间叫做洁净室。根据国际惯例,无尘净化水平主要根据每立方米空气中颗粒直径大于标准的颗粒数量而定。换句话说,所谓的无尘不是没有灰尘,而是控制在一个非常小的单位。当然,与我们的普通粉尘相比,符合该标准的粉尘颗粒很小,但对于光学结构而言,即使是一点点粉尘也会产生很大的负面影响。因此,无尘是光学结构产品生产的必然要求。

每立方米都会小于0.3微米粒径的微粉尘数量控制在3500以下,达到国际无尘标准a级。目前,芯片级生产加工中使用的无尘标准要求高于a级。这种高标准主要用于一些芯片的生产。微粉尘的数量严格控制在每立方米1000个,这通常被称为行业中的1个K级别。

洁净实验室建设的主要用途:

1.空气洁净室:已建成并可投入使用的洁净室(设施)。它有所有相关的服务和功能。然而,设施中没有操作员操作的设备。

2.静态洁净室:各种功能齐全,设置安装得当,可按设置或正在使用的洁净室(设施)使用,但设施内无操作人员。

3.动态洁净室:洁净室正常使用,服务功能完善,有设备和人员;如有必要,可以从事正常工作。

洁净实验室建设规划一般规定:

1.洁净室建筑装修施工应完成屋面防水工程及周边结构、外门、外窗安装、主体结构验收,其内容包括室内装修工程、门窗安装、间隙密封、各种管道、照明、净化空调设备、工艺设备等与建筑密封作业的结合。

2.洁净室建筑装修施工进度安排应与其他专业工种制定明确的施工合作计划,并按程序相互配合。

3.洁净室建筑装修施工应符合现行标准《装修工程施工及验收规范》GBJ210和《地面及地面工程施工及验收规范》GBJ除209年的要求外,还应保证施工的气密性,减少施工作业的粉尘量,保持施工现场的清洁。如有防腐要求,还应符合现行标准《建筑防腐工程施工及验收规范》TJ212的规定。

4.洁净室建筑装饰施工现场的环境温度应不低于10℃,但是,对于特殊装修工程,应按照装修材料说明书要求的温度进行施工。